簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "矽光子".ckeyword (精準) and year="101"


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    利用標準CMOS製程實現光積體電路的可行性評估
    • 電子工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 王威竣 指導教授: 李三良
    • 本論文探討利用國內晶圓廠的標準Bulk CMOS 製程實現光電積體電路的可能性,我們選擇標準0.18 μm CMOS製程中的多晶矽層作為光學波導,並且以微機電(MEMS)後製程將光學波導下方的矽基板…
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